薄膜測量

薄膜測量系統(tǒng)是基于白光干涉的原理來確定光學(xué)薄膜的厚度。白光干涉圖樣通過數(shù)學(xué)函數(shù)被計算出薄膜厚度。對于單層膜來說，如果已知薄膜介質(zhì)的n和k值就可以計算出它的物理厚度。 AvaSoft-Thinfilm應(yīng)用軟件內(nèi)包含有一個大部分常用材料和膜層n和k值的內(nèi)置數(shù)據(jù)庫。 AvaSoft-Thinfilm系統(tǒng)可以測量的膜層厚度從10 nm到50 um，分辨率可達(dá)1 nm。 薄膜測量應(yīng)用于半導(dǎo)體晶片生產(chǎn)工業(yè)，此時需要監(jiān)控等離子刻蝕和沉積加工過程。還可以用于其它需要測量在金屬和玻璃基底上鍍制透明膜層的領(lǐng)域。其他領(lǐng)域中，金屬表面的透明涂層和玻璃襯底也需要嚴(yán)格測量。 AvaSoft-Thinfilm應(yīng)用軟件能夠?qū)崟r監(jiān)控膜層厚度，并且可以與其他AvaSoft應(yīng)用軟件如XLS輸出到Excel軟件和過程監(jiān)控軟件一起使用。 薄膜測量的典型裝置如圖所示。