鍍膜過(guò)程監(jiān)控

在鍍膜過(guò)程中需要對(duì)一些重要參數(shù)進(jìn)行監(jiān)控，如膜層厚度、成分、表面光潔度、光透射率、反射系數(shù)、偏振特性等，都可以利用光譜學(xué)和雙光束干涉的方法進(jìn)行測(cè)量。光纖的使用為監(jiān)控過(guò)程提供了靈活的工具，可以使光方便地進(jìn)入或?qū)С鲞h(yuǎn)方的真空超凈室，而且可以同時(shí)為膜層分析提供多個(gè)幾何量的測(cè)量選擇。膜層的照明和發(fā)光的探測(cè)可以在相對(duì)于膜層的不同光纖位置進(jìn)行，可以測(cè)量鏡面反射、漫反射、傳輸、偏振、干涉、熒光和拉曼散射等?？梢岳枚喔饫w同時(shí)監(jiān)測(cè)多個(gè)參數(shù)，或者在不同的空間位置或掩模條件下同時(shí)測(cè)量。

用幾個(gè)適宜結(jié)構(gòu)的光纖探頭，就可以在線監(jiān)測(cè)生產(chǎn)的全過(guò)程。在一些場(chǎng)合中，可以通過(guò)監(jiān)測(cè)離子源（如等離子源）的光譜輻射來(lái)確定鍍膜過(guò)程中的條件效率。

對(duì)于大多數(shù)此類監(jiān)測(cè)系統(tǒng)來(lái)說(shuō)都需要專門的實(shí)驗(yàn)布局，我們可以為您提供適合您應(yīng)用的實(shí)驗(yàn)布局，這里僅舉一個(gè)應(yīng)用系統(tǒng)的例子。在這里使用一個(gè)反射型光纖探頭來(lái)在線監(jiān)測(cè)鍍膜生產(chǎn)過(guò)程。光纖通過(guò)過(guò)真空裝置進(jìn)入真空室，然后傳到反射探頭上。反射光經(jīng)過(guò)另一個(gè)過(guò)真空裝置，進(jìn)入光譜儀的一個(gè)測(cè)量通道。反射型探頭可以用SMA接頭拆下。還可以再增加一個(gè)光譜儀通道，用來(lái)進(jìn)行參考測(cè)量或補(bǔ)償光源本身的波動(dòng)對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。