膜厚測量
薄膜測量系統(tǒng)是專門針對半導(dǎo)體、材料、生物醫(yī)學(xué)薄膜的實驗室分析及在線監(jiān)測開發(fā)的，用于測量薄膜反射率及膜層厚度的綜合測量系統(tǒng)。該系統(tǒng)基于白光反射及干涉的原理來確定光學(xué)薄膜的厚度。可以通過對白光干涉圖樣進行數(shù)學(xué)運算來計算出薄膜厚度。對于單層膜來說，如果已知薄膜的n和k值就可以計算出它的物理厚度。
AvaSoft-Thinfilm軟件內(nèi)有一個包含大部分常用材料和膜層的n值和k值的數(shù)據(jù)庫。TFProbe多層膜測量軟件可以測量多達5層膜的厚度和光學(xué)常數(shù)（n、k值），實現(xiàn)實時或在線膜厚和折射率監(jiān)控。
參數(shù)指標：
光譜范圍 200~1100nm 測量速度 2 ms minimum
膜厚范圍 10nm~200μm基底厚度up to 50mm thick
分辨率 1nm 測量精度 better than 0.25
典型應(yīng)用領(lǐng)域：
Semiconductor fabrication (PR, Oxide, Nitride..) 半導(dǎo)體制造
Liquid crystal display (ITO, PR, Cell gap…..) 液晶顯示器
Forensics, Biological films and materials 醫(yī)學(xué)、生物薄膜或材料
Inks, Mineralogy, Pigments, Toners 印刷油墨，礦物學(xué)，顏料，碳粉
Pharmaceuticals, Medial Devices 制藥
Optical coatings, TiO2, SiO2, Ta2O5….. 光學(xué)薄膜
Semiconductor compounds 半導(dǎo)體化合物
Functional films in MEMS/MOEMS 功能薄膜材料
Amorphous, nano and crystalline Si 非晶硅
AvaSoft-Thinfilm應(yīng)用系統(tǒng)可以搭配多種應(yīng)用系統(tǒng)附件，例如光纖多路復(fù)用器、顯微鏡、過真空裝置等附件，實現(xiàn)多點位同時測量、微區(qū)測量、過程監(jiān)控等復(fù)雜領(lǐng)域的應(yīng)用。 例如：AvaSoft-Thinfilm應(yīng)用系統(tǒng)能夠?qū)崟r監(jiān)控膜層厚度，并且可以與其他AvaSoft應(yīng)用軟件如XLS輸出到Excel軟件和過程監(jiān)控軟件一起使用。
